วิทิตอนันต์ น, วรรณทวี ก. การเตรียมและศึกษาลักษณะเฉพาะของฟิล์มบางโครเมียมไนไตรด์ที่เคลือบ ด้วยรีแอคทีฟดีซีอันบาลานซ์แมกนีตรอนสปัตเตอริง Preparation and Characterization of CrN Thin Films Deposited by Reactive DC Unbalanced Magnetron Sputtering. RMUTI Journal [Internet]. 2016 Dec. 29 [cited 2024 Apr. 30];9(3):178-89. Available from: https://ph01.tci-thaijo.org/index.php/rmutijo/article/view/73629