กลับไปที่รายละเอียดบทความ ผลกระทบต่อความน่าเชื่อถือของเวลาหลังกระบวนการ พลาสมาที่มีระยะเวลานานขึ้นต่อบรรจุภัณฑ์วงจรรวม ดาวน์โหลด ดาวน์โหลด PDF